21世紀(jì)經(jīng)濟(jì)報(bào)道記者倪雨晴 深圳報(bào)道

雖然半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)處于低谷期，但國(guó)內(nèi)的設(shè)備龍頭仍逆勢(shì)增長(zhǎng)。

(資料圖)

8月24日，中微公司發(fā)布半年報(bào)，上半年實(shí)現(xiàn)營(yíng)收25.27億元，同比增長(zhǎng)28.13%；歸母凈利潤(rùn)10.03億元，同比增長(zhǎng)114.4%；扣非凈利潤(rùn)5.19億元，同比增長(zhǎng)17.75%。利潤(rùn)增長(zhǎng)也受益于產(chǎn)業(yè)鏈投資，上半年中微公司出售部分持有的拓荊科技股票，產(chǎn)生稅后凈收益約4.06億元。此外，中微公司還公告了核心技術(shù)人員的調(diào)整。

中微公司董事長(zhǎng)兼CEO尹志堯在8月25日的業(yè)績(jī)說(shuō)明會(huì)上表示，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)今年預(yù)計(jì)下降30%多，在不是很有利的市場(chǎng)環(huán)境下，依然做到營(yíng)收和歸母凈利潤(rùn)的增長(zhǎng)殊為不易。

當(dāng)投資者問(wèn)及關(guān)鍵零部件的國(guó)產(chǎn)供應(yīng)鏈進(jìn)展時(shí)，尹志堯介紹道：“半導(dǎo)體設(shè)備零部件方面，經(jīng)過(guò)十幾年努力，國(guó)內(nèi)的零部件在刻蝕機(jī)的占比達(dá)到60%，MOCVD的占比為80%，需要指出的是有一些是外國(guó)公司在中國(guó)的子公司生產(chǎn)的?！?/p>

他進(jìn)一步表示，在海外零部件限制不斷加強(qiáng)情況下，中微公司正推動(dòng)盡快實(shí)現(xiàn)零部件的國(guó)產(chǎn)化，“我們有非常詳盡的每一個(gè)關(guān)鍵零部件的路線圖，一步一步地做到國(guó)產(chǎn)化。到今年年底，原來(lái)受?chē)?guó)外限制的零部件中，有80%可以實(shí)現(xiàn)不受限制， 明年下半年100%零部件不受限制?！?/p>

刻蝕市占率的新目標(biāo)

根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，2023年中國(guó)大陸地區(qū)的設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模預(yù)期降低33%，降幅大于全球總設(shè)備市場(chǎng)的預(yù)期降幅(23%)。中國(guó)大陸地區(qū)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模的全球占比自去年開(kāi)始下降，今年預(yù)期的降幅更大，不過(guò)依然占據(jù)全球約22%的市場(chǎng)份額。

隨著國(guó)產(chǎn)化的推進(jìn)，近年來(lái)國(guó)內(nèi)的設(shè)備廠商迅速發(fā)展，中微公司、北方華創(chuàng)、盛美半導(dǎo)體等龍頭廠商崛起。具體到中微公司的核心業(yè)務(wù)上，主要覆蓋了刻蝕設(shè)備和薄膜設(shè)備，也已經(jīng)涉足檢測(cè)設(shè)備。

在2023年上半年，中微公司刻蝕設(shè)備收入為17.22億元，較上年同期增長(zhǎng)約32.53%，毛利率達(dá)到46.16%；薄膜相關(guān)設(shè)備上，MOCVD設(shè)備收入2.99億元，較上年同期增長(zhǎng)約24.11%，毛利率達(dá)到37.90%。

其中，中微公司最為人熟知產(chǎn)品的是刻蝕設(shè)備，刻蝕設(shè)備主要分為ICP（低能等離子體刻蝕）和CCP（高能等離子體刻蝕）兩大類(lèi)，中微尤其在CCP領(lǐng)域具備優(yōu)勢(shì)。比如，在國(guó)際最先進(jìn)的5納米芯片生產(chǎn)線及下一代更先進(jìn)的生產(chǎn)線上，中微公司的CCP刻蝕設(shè)備實(shí)現(xiàn)了多次批量銷(xiāo)售，已有超過(guò)230臺(tái)反應(yīng)臺(tái)在生產(chǎn)線合格運(yùn)轉(zhuǎn)。

刻蝕是微觀加工過(guò)程最復(fù)雜的步驟，“僅僅是七種主要IC器件就有465種不同的刻蝕應(yīng)用，每一個(gè)都是慢工出細(xì)活，要精雕細(xì)刻，所以刻蝕機(jī)最大的挑戰(zhàn)在于工藝過(guò)程。”尹志堯介紹道，“目前，中微刻蝕機(jī)可以覆蓋存儲(chǔ)器和邏輯器件的90%以上，甚至100%的應(yīng)用?！?/p>

同時(shí)，尹志堯還透露了近期中微公司將達(dá)到的刻蝕機(jī)的設(shè)備市占率，即預(yù)期在一年內(nèi)能達(dá)到的市占率。

比如，在國(guó)內(nèi)先進(jìn)的邏輯器件生產(chǎn)線上，中微公司現(xiàn)在的CCP刻蝕市占率是24%，近期目標(biāo)市占率是超過(guò)60%，“ICP刻蝕方面，去年十月以前基本沒(méi)有中微市場(chǎng)，經(jīng)過(guò)六個(gè)月的研發(fā)，近期ICP刻蝕目標(biāo)市占率是75%?！币緢蛘劦?。

在國(guó)內(nèi)先進(jìn)存儲(chǔ)研發(fā)線上，中微公司現(xiàn)有CCP刻蝕市占率為35%，近期目標(biāo)市占率是85%，ICP刻蝕市占率目前是9.6%，近期目標(biāo)是65%。

加速布局第三代半導(dǎo)體設(shè)備

在刻蝕之外，中微在薄膜設(shè)備方面亦有長(zhǎng)期布局，從MOCVD，發(fā)展到LPCVD、外延設(shè)備等。目前中微公司正緊鑼密鼓地開(kāi)發(fā)化合物半導(dǎo)體（第三代半導(dǎo)體）外延設(shè)備市場(chǎng)，尹志堯透露，近期1-2年會(huì)有新產(chǎn)品發(fā)布。

根據(jù)Gartner數(shù)據(jù)，2022年薄膜設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模為228億美元，占總晶圓廠設(shè)備市場(chǎng)的23%。薄膜設(shè)備分成等離子體加強(qiáng)的CVD、低壓CVD、原子水平CVD、單晶外延、爐管CVD等設(shè)備。

尹志堯表示：“我們和國(guó)內(nèi)另外兩三家薄膜設(shè)備公司配合很好，大家可以去覆蓋不同的工藝。在一兩年時(shí)間內(nèi)，薄膜設(shè)備預(yù)計(jì)可以全部被3、4家公司所覆蓋?！?/p>

平安證券報(bào)告指出，中微公司在Mini-LED顯示外延片生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域處于國(guó)際領(lǐng)先，針對(duì)Micro-LED應(yīng)用的專(zhuān)用MOCVD設(shè)備正開(kāi)發(fā)中。同時(shí)中微公司積極布局用于功率器件應(yīng)用的第三代半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)，推出了用于氮化鎵功率器件生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備PrismoPD5，目前已交付國(guó)內(nèi)外領(lǐng)先客戶進(jìn)行生產(chǎn)驗(yàn)證，并取得了重復(fù)訂單。

與此同時(shí)，平安證券也在風(fēng)險(xiǎn)提示中提到了下游客戶擴(kuò)產(chǎn)投資不及預(yù)期的問(wèn)題，若下游晶圓廠和LED芯片制造商的后續(xù)投資不及預(yù)期，對(duì)相關(guān)設(shè)備的采購(gòu)需求減弱。

多位分析師向記者指出，大廠投資開(kāi)支削減，也是今年整體設(shè)備行業(yè)需要面臨的挑戰(zhàn)。IC Insights的報(bào)告顯示，全球半導(dǎo)體資本支出在2021年增長(zhǎng)35%，2022年增長(zhǎng)15%以后，2023年預(yù)計(jì)會(huì)下降14%?？梢?jiàn)，短期內(nèi)產(chǎn)業(yè)依然承壓，但是從長(zhǎng)期來(lái)看，半導(dǎo)體行業(yè)在波動(dòng)中持續(xù)向上發(fā)展。

對(duì)于行業(yè)景氣趨勢(shì)，尹志堯分析道，過(guò)去50年里集成電路的產(chǎn)業(yè)發(fā)展很快，其中半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展速度超過(guò)集成電路器件，但是半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的浮動(dòng)也是最厲害的，比如1999年-2000年，一年之內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)增長(zhǎng)了80%以上，也會(huì)出現(xiàn)一年下降30%-40%的情況。大起大落主要受兩個(gè)驅(qū)動(dòng)力影響，一是集成電路周期性非常明顯，二是國(guó)民經(jīng)濟(jì)發(fā)展趨勢(shì)。

在他看來(lái)：“短期而言周期性是必然的，所以今年全球（半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模）降了23%是很正常的現(xiàn)象，并不是異常現(xiàn)象。中國(guó)也受到國(guó)際環(huán)境等各方面的影響，但也不要太擔(dān)心，因?yàn)橹袊?guó)市場(chǎng)特別大，而且政府推動(dòng)產(chǎn)業(yè)的動(dòng)力非常強(qiáng)，在集成電路、半導(dǎo)體設(shè)備方面都有長(zhǎng)足的進(jìn)步。過(guò)去十年我們都在不斷發(fā)展，不敢說(shuō)以后的10年、20年都每年都會(huì)增長(zhǎng)，但是總的上升趨勢(shì)非常明顯?！?/p>

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